Нанотехнологии

ДОЛИ МИКРОНА, УВИДЕННЫЕ В ЗЕЛЕНОГРАДЕ

Административный округ Москвы - город Зеленоград с населением в 207 тыс. человек - расположен к северо-западу от столицы, в 20 км от московской кольцевой автодороги. Строить его начали в 1958 г. на месте старинных деревень и поселка Крюково. Сначала предполагали, что здесь будет "спальный" район мегаполиса с небольшим числом предприятий легкой промышленности. И только в 1962 г. правительство постановило создать тут научный центр по электронике.

Задуман он был как замкнутый, самодостаточный комплекс с организацией на единой территории всей цепочки исследований, разработки и производства материалов, микросхем и некоторых узлов аппаратуры. Зеленоград стал бурно развиваться, и уже в первые годы существования ежегодный прирост выпускаемой продукции тут достигал 25% (кстати, это был один из самых высоких соответствующих показателей в стране). Постепенно продукция города завоевала почти весь российский рынок и вышла за рубеж.

Ведущее место в нем принадлежит АООТ "Научно-исследовательский институт молекулярной электроники" и завод "Микрон" и ОАО "Ангстрем". Мозговой центр первой фирмы - НИИ, где новейшие научные разработки возглавляют 8 докторов и 48 кандидатов наук. Созданные здесь микросхемы высшего уровня сложности широко используют в системах связи и телекоммуникациях, вычислительной технике, радиоэлектронных устройствах бытового и военного назначения.

Для примера скажем, что ими комплектуют новейшие ракетные системы С-300, "Тополь-М" и т.д. Среди последних "детищ" института следует отметить принципиально новые высокочастотные транзисторы и микросхемы на основе нетрадиционных материалов (в том числе арсенида галлия), "начинку" для часов, калькуляторов и другой бытовой техники.

Серийный выпуск всей этой продукции осуществляет завод "Микрон". С его роботизированных и автоматизированных линий в месяц сходят более 4 млн. микросхем около 300 типов. Об их высоком качестве и современном уровне говорит то, что свыше 60% этих изделий идет на экспорт в 20 с лишним стран, в том числе в Южную Корею, Китай, Сингапур. В 1998 г. тут освоили новый комплект оборудования, позволяющий выпускать микросхемы размером до 0,8 мкм.

Предприятие "Ангстрем" (в его составе 1 доктор и 40 кандидатов наук) со дня основания в июне 1962 г. - экспериментальная база для внедрения новых технологий, оборудования и форм организации труда по выпуску широкой номенклатуры наукоемкой продукции. Тут были созданы первые отечественные многофункциональные микросхемы (ими оснащены многие космические приборы), микропроцессоры, схемы оперативной памяти, однокристалльные микро-ЭВМ, сверхбольшие интегральные схемы и другие изделия. Кроме элементной базы, на "Ангстреме" разработали и выпускают миллионными тиражами различную аппаратуру, в том числе микрокомпьютер "Электроника МК-85", инженерный микрокалькулятор на солнечных батареях "Электроника МК-71", электронные игры.

Сейчас "Ангстрем" - лидер среди российских экспортеров микроэлектроники: до 90% его продукции поступает в страны Западной Европы, Юго-Восточной Азии, Ближнего Востока. Но несмотря на ощутимые успехи, тут не остановились на достигнутом. Программа перспективного развития предусматривает освоение в ближайшие годы технологии, обеспечивающей выпуск элементов с топологическими размерами 0,25-0,5 мкм.

Роль "Микрона" и "Ангстрема" не исчерпывается уникальным технологическим производством. Каждый из них является основным предприятием крупных образований. Так, генеральный директор "Микрона" член-корреспондент РАН Г. Я. Красников возглавляет существующий с 1997 г. концерн "Научный центр", в который вошли 6 крупных зеленоградских предприятии.

А генеральный директор "Ангстрема" В. Л. Дшхунян руководит холдингом "Российская электроника", также появившимся в 1997 г. В его составе более 30 предприятий отрасли из многих регионов России.

Заканчивая рассказ о двух крупнейших образованиях Зеленограда, скажем: по освоенным технологиям, объемам и номенклатуре выпускаемой продукции на всем пространстве СНГ с ними может конкурировать только всемирно известное объединение "Интеграл" (Минск, Беларусь).

Следующим в этом перечне следует отметить ОАО "Завод "Компонент"". На нем под "бдительным оком" 1 доктора и 3 кандидатов наук изготавливают космическую микроэлектронную аппаратуру - станции спутниковой связи, бортовые цифровые ЭВМ (в частности, они установлены на космической станции "Мир") и т.д. Кроме того, тут выпускают радиолокационные ответчики для глобальной международной системы поиска и спасения терпящих бедствие на море (РСО "Дюйм-С" и "Старт-94"), автономные электронные стимуляторы желудочно-кишечного тракта и слизистой оболочки, сигнализаторы утечки метана ("Метан-99"), блоки управления автоматическими стиральными машинами нового поколения и т.п. Последнее время одним из самых перспективных изделий "Компонента" стали УКВ-станции связи для МВД, ФСБ, таможни, погранвойск и других "спецпотребителей". Эти устройства отличаются от зарубежных большей дальностью действия и защищают информацию от прослушивания. Немудрено, что продукцию этого предприятия используют многие страны, в том числе Великобритания и США.

В 1962 г. в Зеленограде было организовано НИИ-335, через 4 года преобразованное в Научно-исследовательский институт микроприборов (НИИМП), который в 1975 г. влился во вновь созданное Научно-производственное объединение "ЭЛАС". Научный потенциал института (сейчас здесь трудятся 5 докторов и 25 кандидатов наук) позволил внести весомый вклад в развитие отечественной космической техники. Одним из первых (с 70-х годов) достижений его следует считать комплект аппаратуры "Сириус" для диагностики и телеметрии, используемый при испытаниях и отладке баллистических ракет. Более 10 типов космических аппаратов многоцелевого назначения серии "Космос", орбитальные станции "Салют" и "Мир", системы спутниковой связи "Сургут-Молния", геостационарный спутник "Поток" - вот далеко не полный перечень объектов, где успешно функционируют как отдельные детали, так и приборы, созданные в стенах этого института. Используя предыдущий опыт, с 1991 г. здесь приступили к разработке систем спутниковой связи "Банкир" и "Сокол" для обслуживания государственных и коммерческих структур России и стран СНГ. Кроме того, учитывая неблагоприятное состояние околоземного пространства, тут занялись аппаратурой многоцелевой системы экологического мониторинга окружающей среды.

Помимо производственной деятельности в НИИМП большое внимание уделяют подготовке высококвалифицированных кадров, благодаря чему за 30 с лишним лет защитили диссертации 78 докторов и свыше 450 кандидатов наук.

Разработка и производство широкой гаммы материалов и структур для электронной техники - профиль ЗАО "Научно-исследовательский институт материаловедения" и ОАО "Элма". Бывшие до приватизации единым объединением, эти организации и ныне сохранили научный потенциал (сейчас в них трудятся 3 доктора и 58 кандидатов наук), тесные производственные связи. Спросом у изготовителей электронной техники пользуются выпускаемые ими высококачественные кремниевые пластины диаметром до 200 мм, а также структуры "кремний-на-диэлектрике". Эти изделия служат основой для монтажа сверхбольших и сверхскоростных интегральных схем с субмикронными проектными нормами (до 0,25-0,3 мкм).

Еще один продукт предприятия - кремниевые эпитаксиальные структуры - используют для изготовления кристаллов дискретных приборов силовой электроники (диодов, транзисторов и пр.).

Выпускаемые здесь лазерные активные элементы применяют в высокоэнергетических системах медицинских приборов (их применяют НИИ "Зенит" и ОАО "Элма" -об этом будет сказано ниже) и в станкостроительной промышленности при очистке поверхностей материалов, резке металла и т.п. Одновременно тут изготавливают специальные материалы на основе соединений типа сульфида (селенита) кадмия для датчиков, воспринимающих инфракрасные излучения.

Соответствие перечисленных материалов международным стандартам SEMI и их отменное качество обеспечивают им широкий спрос не только в России и странах СНГ, но и в Великобритании, США, Китае, Южной Корее и др.

Большой путь прошел Научно-исследовательский институт "Зенит". Его деятельность началась в 1962 г. с организации Конструкторского бюро, где занимались газоразрядными источниками высокоинтенсивного оптического излучения. Теперь это мощное предприятие (с 1992 г. - ОАО НИИ "Зенит") с развитой экспериментальной и производственной базой, укомплектованное высококвалифицированными работниками, среди которых 5 докторов и 18 кандидатов наук. Сейчас отсюда выходят самые современные средства защиты вертолетов и бронетанковой техники от высокоточного оружия. Наряду с этим в рамках конверсии налажен выпуск товаров народнохозяйственного назначения, в частности светофоров на основе сверхъярких излучающих диодов. С 1994 г. свои разработки и ноу-хау "Зенит" успешно демонстрирует на выставках "Эврика" в Брюсселе, где им было присуждено 11 медалей. "Золото" там получили лазерный перфоратор для бесконтактного забора крови; способ профилактики и лечения лучевых воздействий и повреждений ионизирующим излучением на основе высокоинтенсивной импульсной лазерной терапевтической установки; бытовой ультрафиолетовый стерилизатор и твердотельный мини-лазер на красителях с изменяемой длиной волны для лабораторных исследований.

Свои изделия институт экспортирует в Австрию, Англию, Германию, Китай, США, Францию и другие страны.

Активно функционирует и ОАО "Стелла". Помимо оптоэлектронных систем для специальной техники, оно производит приборы медицинского назначения на основе ультрафиолетовых и лазерных излучателей (лазерный импульсный терапевтический аппарат "ЛИТА-1", а также лазерного облучения крови "АЛОК-1"). Вместе с тем здесь изготавливают и электровакуумные приборы. Некоторые из них предназначены для фотовспышек, другие - лампы накачки - для лазерных систем, на основе третьих делают различные осветительные приборы. Скажем, одна лампа марки КНУ-1 равна примерно Ю прожекторам, и светильник из двух таких уникумов освещает территорию до 4 га.

В числе столпов зеленоградской науки - образованный в 1964 г. Научно- исследовательский институт физических проблем (НИИФП), ныне имеющий статус Государственного научного центра. Под руководством 9 докторов и 70 кандидатов наук он решает узловые проблемы электроники. Исследования ведут в рамках президентской целевой программы "Развитие электронной техники в России", а также федеральных программ "Национальная технологическая база" и "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития науки и техники гражданского назначения".

Из освоенных отечественной промышленностью его разработок следует отметить кремниевые холодные автокатоды, используемые в плоских экранах различного назначения, жидкокристаллические индикаторы и ряд других. Особое место в тематике НИИФП занимают субмикронная, наномолекулярная и сверхпроводниковая технологии, а также изделия микромеханики. Из последних отметим оптоэлекгронные считыватели изображений, сенсоры и изделия на основе полимерных материалов. К наиболее значимым успехам института относится и созданная совместно с ЗАО "НТ-МДТ" серия сканирующих зондовых микроскопов (SOLVER Р47, SOLVER P47M, SOLVER P7LS, Standart Alone "SMENA").

С помощью этих изделий можно разглядеть не только отдельные атомы исследуемого вещества, но и манипулировать ими. Названные аппараты, а также специальные зонды для них - кантилеверы - уже заняли прочное место на мировом рынке. Среди их потребителей Англия, Китай, США, Франция, Германия и др.

Палитра новинок предприятия этим не ограничивается. Ученые создали полимерный экран для отображения информации толщиной всего 2-3 мк. Синтезированы материалы, разработана технология и получены первые образцы многоцветных эффективных источников света произвольной конфигурации, плоских алфавитно-цифровых индикаторов на основе электролюминесцентных полимеров.

Не забыта и медицина. В институте предложили физико-химические аспекты обеспечения биосовместимости границ раздела полимер-кровь. Эффективность предложенной технологии использования супертонких углеродных слоев подтверждена исследованиями в Научно-исследовательском институте трансплантологии и искусственных органов Министерства здравоохранения РФ. Вместе с тем здесь выпускают высокоэффективные молекулярно-капсюлированные формы витаминов "Веторон", а витаминизированный хлеб на его основе выпекают около 50 хлебозаводов страны. В отдельном корпусе НИИФП находится синхротрон. Для него специалисты предложили оригинальную конструкцию и технологии изготовления фокусирующих и высокосветосильных монохроматоров. Ввод в действие агрегата позволит организовать центр для решения проблемных задач не только электронной техники, но и медицины, биологии и экологии.

Помимо собственных разработок, институт участвует в реализации международных проектов, в частности с итальянскими партнерами по теме "Молекулярные и биомолекулярные наноструктуры", в работе под условным названием "Эльба" в области биоэлектроники и молекулярной инженерии и т.д. Он - коллективный член международного фонда "Electronics Biotechnology Advanced" (электроники и биотехнологии), участвует в работе российско-американского союза "Сенсорная биология и биосенсоры", международного общества по оптической технике и ряде других.

В Научно-исследовательском институте "Элпа" (ныне ОАО; здесь, в том числе, трудятся один доктор и 15 кандидатов наук) изучают и используют на практике пьезоэлектрический эффект. На основе пьезокерамики предприятие выпускает комплектующие изделия для аппаратуры связи, радиоприемников и телевизоров (фильтры и резонаторы, акустические антенны, трансформаторы и двигатели), а также акустические электронные устройства для широкого диапазона частот (микрогенераторы и т.п.).

Вместе с комплектующими из стен института выходит и большой ассортимент готовых товаров общего назначения - электронные измерители артериального давления (ИАД- 1), дезодораторы, бытовые генераторы озона "Пьезон" и ультразвуковые активаторы для стирки белья "Колибри".

Работу над новейшей аппаратурой в самых различных областях - от космоса до датчиков бытового назначения - развернули в Научно-исследовательском институте "Научный центр" (НИИНЦ). Тут под руководством 3 докторов и 30 кандидатов наук выпускают системы автоматического управления различными технологическими процессами (САУ-600/16), пускорегулирующую аппаратуру для люминесцентных ламп и промышленных светильников. Здесь же предложили семейство цифровых и микропроцессорных автоматизированных телефонных станций (ЦАТС НЦ-16, НЦ-АМ- 256 и т.п.), безмонетные таксофоны и систему централизованного контроля их состояния, чиповые телефонные карты и т.д.


Представляет интерес созданный в институте комплект устройств для мобильной спутниковой связи и инерциальная космическая система навигации для наземных транспортных средств в условиях крупного города. Последняя позволяет из единого диспетчерского пункта через спутник связи руководить потоками машин, снабженных соответствующей аппаратурой.

С 1976 г. ученые НИИНЦ начали исследования по получению полупроводниковых материалов в условиях невесомости (аналогичные работы по выращиванию монокристаллов развернуты в московском Институте химических проблем микроэлектроники). За это время на орбитальных станциях "Салют-6 и 7", а также "Мир" выполнены более 40 технологических экспериментов и сконструировано бортовое оборудование для выращивания кристаллов в космосе. Аналогичные работы планируется продолжить и на российском сегменте международной орбитальной станции "Альфа".

Выпуск любой продукции, в частности микроэлектроники, невозможен без производственной базы. Создание последней - основная цель Научно- исследовательского института точного машиностроения (ныне - АООТ "НИИТМ"). Сейчас это единственная организация в России, где разрабатывают оборудование для получения и обработки тонких пленок, необходимых при производстве интегральных схем.

Кроме перечисленных градообразующих организаций Зеленограда, следует отметить ряд других, изготавливающих промышленную и бытовую технику. Прежде всего речь идет об ОАО "Элакс" - лидере предприятий стран СНГ в создании и выпуске шаговых двигателей для электротехнических устройств. Среди этих изделий - принтеры, дисководы, факсы, расчетно-кассовые аппараты, осветительные установки и т.п. Отсюда же "родом" малогабаритные магнитотерапевтические приборы .для семейной медицины "Эдма" (с их помощью лечат артриты, радикулиты и пр.), аппарат плазменной сварки "Ал-плаз-04М" и оборудование для учета нефтепродуктов.

Ведущую роль в России по подготовке специалистов в области электроники, информатики и связи играет расположенный в Зеленограде Московский государственный институт электронной техники. За 35 лет существования он выпустил более 17 тысяч специалистов высокого класса. В последние годы набор учащихся значительно расширен: тут стали готовить экономистов, дизайнеров, психологов, педагогов и т.д., в связи с чем институту присвоен статус Технического университета. Здесь преподают ученые с мировым именем, среди них свыше 30 академиков и членов- корреспондентов РАН, 80 докторов и почти 400 кандидатов наук.

Помимо крупных градообразующих предприятий, имеющих без малого сорокалетнюю историю, ныне в Зеленограде успешно развивается и малый бизнес, охватывающий различные сферы деятельности. Так, ЗАО "Элма малахит" занимается монокристаллами и пластинами арсенида и фосфида галлия - основными материалами для изготовления активных элементов и монолитных интегральных схем твердотельной СВЧ-микроэлектроники. ООО "Фирма АНКАД" разрабатывает системы защиты информации от несанкционированного доступа серии "Крептон" с базовым комплектом программного обеспечения, а также аппаратуру для защиты телефонных переговоров. Кроме того, здесь производят криптографическое оборудование для кодирования и считывания информации с интеллектуальных пластиковых смарт-карт, используемых в банковской, торговой и сервисной сферах. Очень важная наукоемкая продукция выходит из стен ЗАО "Эпиэл". Это полупроводниковые структуры на основе кремния, полученные методом эпитаксии.

Для стимулирования малого предпринимательства в городе на пустующих площадях крупных предприятий организуют технопарки. Уже действуют такие фирмы, как "Элвис" (разработка сверхбольших интегральных схем), "Джеймс Ривер Рус" (производство топографического оборудования), ООО "Ракас" (выпуск осветительных приборов), "Технобиофарм" (изготовление препарата для остановки кровотечения - гемостатика).

В феврале 2000 г. вошло в строй еще одно здание инновационно-промышленного комплекса, возводимого в Зеленограде по инициативе Министерства науки и технологий РФ. Это новый для России тип организации, объединяющей малый инновационный бизнес с крупным производством. В состав данного комплекса входят Московский государственный институт электронной техники. Государственный научный центр РФ "НПК "Технологический центр"" еще два инновационно- технологических центра и завод "Протон", выпускающий электронное оборудование. Причем все звенья данной системы объединены между собой на основе экономических отношений, что позволяет сократить до минимума время от начала фундаментальных исследований до создания высокотехнологичной, конкурентоспособной продукции.

Своеобразным резервом развития Зеленограда являются почти 67 га площади, отведенной в 1986 г. под строительство второй очереди "Центра информатики и электроники". Однако отсутствие достаточных инвестиций не позволяет пока реализовать эту идею.

В октябре 1997 г. вышло распоряжение мэра Москвы Ю. М. Лужкова "Об образовании территориально-промышленной зоны с особым статусом в г. Зеленограде". В дальнейшем одобренное Мосгордумой, оно позволило предприятиям-участникам свободной экономической зоны получить ряд существенных льгот, в том числе налоговых. И результат не замедлил сказаться: уже за первые полтора года за счет быстрого роста производимой продукции сумма собираемых налогов тут возросла, дополнительно появилось более 1200 рабочих мест.

Как уже говорилось, почти ни один прибор, ни одно электронное изделие военного или гражданского назначения в России не обходится без элементной базы из Зеленограда. И чем надежнее, компактнее (здесь речь идет о долях микрона) и многофункциональное она, тем современнее конечная продукция. В итоге отечественные заводы могут выпускать конкурентоспособные телевизоры, компьютеры и другую технику, постепенно вытесняющую импортную. Понимание этой общегосударственной проблемы в нашем городе сложилось давно, и мы ему не изменим никогда.


А. Ю. БУДАРОВ, главный специалист администрации Особой зоны города Зеленограда; А. П.ЛАВРЕНТЬЕВ, корреспондент газеты "Зеленоград сегодня"

Авторские права на статьи принадлежат их авторам
Проект компании Kocmi LTD